技術資源
光刻機高壓電源的電磁脈沖防護：技術挑戰與創新方案
在高端光刻機中，高壓電源（通常需穩定輸出數千至數萬伏直流電壓）的穩定性直接決定曝光精度。然而，電磁脈沖（EMP）的瞬態干擾（上升時間
高壓電源在曝光機中的效率提升研究
曝光機是半導體制造和精密光刻的核心設備，其成像質量直接依賴于高壓電源的穩定性和效率。傳統高壓電源存在能耗高、熱損耗大、體積笨重等問
電子束高壓電源紋波抑制技術
在電子束焊接、精密熔煉及真空鍍膜等工業領域，高壓電源的紋波系數直接決定了工藝質量。紋波（輸出電壓中的交流脈動成分）會引發電子束軌跡
高壓電源小型化在曝光機中的技術路徑與應用展望
曝光機作為半導體、平板顯示制造的核心設備，其精度直接決定芯片制程與顯示面板的分辨率。高壓電源作為曝光機的關鍵子系統，負責驅動光源和
電子束高壓電源過流保護設計的關鍵技術與應用
電子束高壓電源廣泛應用于工業加工、醫療設備及科研裝置中，其核心需求是在高電壓（通常數千至數萬伏）、大電流脈沖場景下保持穩定運行。然
曝光機高壓電源動態響應優化技術研究
在微電子制造、光伏面板生產和精密顯示器件加工中，曝光機是光刻工藝的核心設備，其成像質量直接決定產品良率。高壓電源作為曝光機的關鍵子
電子束高壓電源負載適配研究
電子束加工技術（如焊接、切割、熱處理及增材制造）的核心在于高壓電源的負載適配能力。電子束設備的加工對象涵蓋金屬、半導體、陶瓷等多樣
高壓電源模塊化設計在曝光機中的應用演進
曝光機作為半導體制造的核心設備，其圖形轉移精度直接決定芯片的線寬與良率。高壓電源作為曝光機的能量心臟，需為電子束或離子束生成系統提
電子束設備高壓電源噪聲抑制技術研究
電子束設備（如電子束熔煉爐、電子束鍍膜系統等）依賴高壓電源提供穩定的加速電場，其性能直接影響材料加工精度與設備可靠性。然而，高壓電