技術資源
高壓電源助力光刻機節能改造
隨著半導體制造工藝節點不斷縮小，光刻機，特別是極紫外（EUV）光刻機，對電能的需求急劇上升，使其成為晶圓廠中的高能耗大戶。高壓電源系
光刻機電源可靠性提升方案解析
光刻機電源系統的可靠性是維持半導體產線高綜合設備效率（OEE）的生命線。電源系統一旦失效，將導致光刻機停機，帶來巨大的經濟損失。因此
離子注入機電源集成化發展趨勢
離子注入機電源的集成化（Integration）發展趨勢，是應對現代半導體制造對設備小型化、高密度、高可靠性和數字化控制需求的必然演進。集成
高壓電源助力離子注入機節能改造
隨著全球半導體制造業對能源效率的要求日益提高，高壓電源作為離子注入機的主要能耗部件，其節能改造成為提升產線經濟效益和綠色制造水平的
離子注入機電源可靠性提升方案解析
離子注入機電源系統的可靠性是半導體制造和材料改性工藝連續運行的關鍵保障。由于其工作在極高電壓、大功率和復雜電磁環境（包括頻繁的微弧
高壓電源驅動離子注入工藝穩定性優化
高壓電源在離子注入工藝中的核心功能是確保束流參數在時間和空間上的高度穩定性，這是實現器件良率和性能一致性的基礎。工藝穩定性優化主要
高壓電源支持光刻產線智能升級
光刻產線的智能升級是半導體制造邁向工業4 0的關鍵一步，其核心在于實現數據驅動的設備優化、自主決策和實時閉環控制。高壓電源作為光刻機
光刻機電源模塊化提升維護效率
光刻設備作為半導體制造中最復雜、最昂貴的資產，其綜合設備效率（OEE）直接決定了生產線的運營成本和產出。在光刻系統復雜的結構中，高壓
高壓電源助力光刻機精密控制
光刻機的精密控制是實現微納尺度圖案化的基石，而高壓電源是這一控制體系中不可或缺的驅動和執行單元。高壓電源通過提供高度受控的電能，直