技術資源
電鏡高壓電源量子隧穿效應抑制技術探析
電子顯微鏡（以下簡稱電鏡）的高分辨率成像能力，核心依賴于高壓電源輸出的穩定性與精準度。在電鏡工作過程中，高壓電源需為電子槍提供10kV
蝕刻設備高壓電源射頻直流耦合優化技術探析
在半導體制造的蝕刻工藝中，高壓電源作為等離子體生成與能量控制的核心部件，其射頻（RF）與直流（DC）信號的耦合性能直接決定蝕刻精度、速
離子注入高壓電源多脈沖動態同步技術的應用與突破
在半導體先進制程演進中，離子注入作為實現精準摻雜的核心工藝，其精度直接決定芯片電學性能與良率。高壓電源作為離子注入系統的能量中樞，
靜電卡盤高壓電源的納米級表面電位調控技術及應用
在半導體晶圓制造、微機電系統（MEMS）加工等精密制造領域，靜電卡盤憑借無機械損傷、高吸附穩定性的優勢，成為超薄、超大尺寸工件精準定位
離子注入高壓電源能量回收效率提升的技術路徑與應用價值
在半導體制造的摻雜工藝中，離子注入技術憑借其摻雜精度高、可控性強的優勢，成為先進芯片制造的核心環節之一。高壓電源作為離子注入機的能
靜電卡盤高壓電源智能動態均壓的應用與技術價值
在半導體制造向3nm及以下先進工藝迭代的過程中，靜電卡盤（ESC）作為晶圓吸附與定位的核心組件，其性能直接決定光刻、刻蝕等關鍵工序的精度
電鏡高壓電源的飛秒級時間分辨率：技術突破與應用拓展
在電子顯微鏡（以下簡稱電鏡）的技術體系中，高壓電源是控制電子束加速、聚焦與穩定性的核心單元，其性能直接決定電鏡對微觀世界的觀測精度
電子束高壓電源壽命評估模型的構建與應用
電子束技術在材料表面改性、食品低溫殺菌、工業無損探傷等領域的規?；瘧?，推動了對核心動力部件——電子束高壓電源的可靠性要求。該電源
曝光機高壓電源數字化驅動方案的技術應用與效能提升
在半導體制造的光刻環節，曝光機的成像精度直接決定芯片制程水平，而高壓電源作為曝光機光學系統與能量供給的核心部件，其輸出穩定性、精度