技術資源
電鏡高壓電源過壓保護機制的設計與應用
高壓電源是掃描電子顯微鏡（SEM）和透射電子顯微鏡（TEM）的核心部件，負責提供穩定的電子束加速電壓（通常達30 kV以上）。然而，電源波動
蝕刻設備高壓電源負載匹配：精密工藝的核心挑戰
一、負載匹配的技術原理在等離子體蝕刻設備中，高壓電源通過激發反應氣體形成等離子體，其中的離子在電場作用下轟擊材料表面實現刻蝕。負載
準分子激光高壓電源散熱技術的創新與應用
準分子激光器作為紫外波段的高能脈沖光源，在光刻、醫療及精密加工領域具有不可替代的作用。然而，其高壓電源在工作時產生的巨大熱量（電能
高壓電源在靜電卡盤多通道同步中的關鍵技術應用
一、靜電卡盤高壓電源的核心作用靜電卡盤（Electrostatic Chuck, ESC）是半導體制造、精密加工中的核心夾持設備，其依賴高壓電源（通常為
電鏡高壓電源遠程監控方案的設計與應用
電鏡作為納米級觀測的核心設備，其高壓電源的穩定性直接影響成像質量與設備壽命。傳統人工巡檢模式難以滿足實時性要求，而基于智能傳感、邊
蝕刻設備高壓電源自適應調節技術研究
在半導體制造中，蝕刻工藝的精度直接決定器件的性能與良率。高壓電源作為蝕刻設備的核心部件，其輸出特性的穩定性直接影響等離子體的離子能
準分子激光高壓脈沖時序優化關鍵技術研究
準分子激光器作為紫外波段的核心光源，其性能直接取決于高壓脈沖時序的精確控制。在光刻、精密材料加工等領域，時序偏差超過50 ns即可能導
光刻機高壓電源抗干擾設計的關鍵技術
光刻機作為半導體制造的核心設備，其高壓電源的穩定性直接決定曝光精度與芯片良率。然而，高壓電源在運行時易受電磁干擾（EMI）、地線噪聲
電鏡高壓電源低紋波優化技術研究與應用進展
高壓電源的紋波控制是透射電子顯微鏡（TEM）性能的核心指標之一。紋波（輸出電壓的周期性波動）會直接影響電子束的穩定性，導致圖像分辨率