技術資源
電子束高壓電源的多模式運行策略
電子束技術作為一種精密的能量控制手段，在工業加工、醫療設備及科研裝置中具有廣泛應用。其核心驅動單元——高壓電源系統的運行策略，直接
曝光機高壓電源抗振動設計研究
在精密制造領域，曝光機作為核心設備，其對高壓電源的穩定性要求極高。振動不僅影響電源本身的可靠性，更會導致曝光精度下降，造成微米級電
電子束高壓電源能效提升路徑
電子束技術在高精密焊接、熔煉、鍍膜及增材制造等領域應用廣泛，其核心部件高壓電源的性能直接決定工藝質量與系統能耗。面對全球制造業綠色
曝光機高壓電源材料選型分析
高壓電源是曝光機的核心部件，其性能直接決定光刻精度與設備穩定性。材料選型作為高壓電源設計的基礎，需綜合考量電氣特性、熱管理、環境適
電子束高壓電源智能調節算法的應用與發展
電子束技術作為高端制造與精密加工的核心支撐，其性能直接依賴于高壓電源系統的精確度與穩定性。高壓電源不僅需要提供穩定的加速電壓（通常
準分子激光高壓電源電極材料壽命預測的技術邏輯與實踐價值
準分子激光憑借短波長、高能量密度的特性，已成為光刻制造、醫療診療、材料表面改性等領域的核心技術支撐，而高壓電源作為其能量供給核心，
光刻機高壓電源電磁拓撲優化設計
在半導體光刻制程中，光刻機對高壓電源的性能需求呈現高精度-低干擾-高穩定的三重特性。其核心功能是為光刻機光學系統、工件臺驅動模塊提供
離子注入高壓電源多級動態補償網絡的技術特性與應用價值
在半導體先進制程中，離子注入技術是實現精準摻雜的核心工藝，其對摻雜劑量均勻性、雜質深度控制的嚴苛要求，直接依賴于高壓電源的輸出穩定
靜電卡盤高壓電源介質界面陷阱效應抑制的技術應用與實踐
在半導體制造向7nm及以下先進工藝節點演進的過程中，靜電卡盤（ESC）作為晶圓夾持與精準定位的核心組件，其性能穩定性直接決定光刻、刻蝕等