透射電鏡（TEM）

極低紋波和超穩定輸出（1ppm級） 高電壓輸出與寬調范圍（0-400kV） 高可靠性與長壽命 智能化與數字化控制 可提供高度定制化的解決方案

透射電子顯微鏡（TEM）利用加速電子束穿透超薄樣品，通過電子與原子碰撞產生的散射角差異形成影像，分辨率達0.1～0.2nm，放大倍數幾萬至百萬倍，廣泛應用于超微結構觀察。在半導體領域，主要應用于半導體材料的晶體結構分析、半導體器件的結構表征、半導體材料的摻雜分布與擴散、半導體器件的失效分析、半導體制造工藝中的結構優化等。