曝光機高壓電源能效分級標準

隨著半導體行業 “雙碳” 目標推進，曝光機高壓電源（年耗電量超 1 萬度 / 臺）的能效成為關鍵指標，但當前行業缺乏統一分級標準，導致廠商能效標注混亂（如部分廠商僅標注額定負載能效，回避輕載低效問題），用戶選型無據可依，造成能源浪費 —— 據統計，低效電源（能效＜85%）比高效電源（能效＞92%）年多耗電 1200 度，行業整體年浪費電能超 1 億度。
制定能效分級標準需明確 “指標定義、測試方法、等級劃分” 三大核心：指標定義層面，采用 “綜合能效系數（CEC）” 作為分級依據，涵蓋額定負載能效（負載率 100%）、輕載能效（負載率 30%）、待機功耗（負載率 0%）三個維度，權重分別為 50%、30%、20%，避免單一指標導致的 “額定高效、輕載低效” 問題；測試方法層面，參照 IEC 61204-3 標準，在環境溫度 25℃±5℃、輸入電壓 220V±10% 條件下，采用功率分析儀（精度 0.1 級）測量不同負載率下的輸入功率與輸出功率，計算能效值，待機功耗測試需持續 1 小時，取平均值；等級劃分層面，將 CEC 值分為 5 級，1 級為最高效（CEC≥92%，待機功耗≤5W），2 級（CEC 89%-91%，待機功耗≤8W），3 級（CEC 86%-88%，待機功耗≤12W），4 級（CEC 83%-85%，待機功耗≤15W），5 級為準入級（CEC≥80%，待機功耗≤20W），同時規定 2026 年起禁止生產 5 級電源，2028 年起禁止銷售 4 級電源。
標準實施后，將推動行業能效提升：一是引導技術研發，廠商需優化拓撲結構（如采用 LLC 諧振拓撲，輕載能效提升 5%）、改進散熱設計（減少散熱損耗）；二是幫助用戶選型，某半導體園區采購 100 臺 1 級能效電源，年節電 12 萬度，折合電費 9.6 萬元；三是規范市場秩序，避免 “能效虛標”，促進行業良性競爭。