技術資源
離子注入機電源智能化控制新趨勢
離子注入技術在先進工藝制程中的地位不斷提升，其對高壓電源系統提出了更高層級的穩定性、響應速度與智能化管理要求。隨著器件尺寸的持續縮
封測設備電源系統創新與優化
封裝與測試環節在半導體制造鏈中承擔著連接晶圓制造與最終交付的重要任務，其設備類型繁多，包括固晶、引線鍵合、焊球植球、模封、切割分離
離子注入機電源國產化及創新應用趨勢
離子注入機作為半導體制造中的關鍵設備，其高壓電源系統的國產化進程正加速推進，這不僅提升了供應鏈自主性，還為創新應用注入了新活力。高
高壓電源助力晶圓清洗產能升級
晶圓清洗工藝作為半導體制造中不可或缺的關鍵環節，其效率、潔凈度與穩定性直接影響后續光刻、沉積與刻蝕工序的良率。隨著先進制程對表面潔
高壓電源引入智能化溫控策略
在節能改造路徑中，散熱優化同樣不可忽視。傳統的風冷系統在長時間高負荷運行時效率偏低，而優化后的高壓電源會引入智能化溫控策略，例如基
高壓電源助力光刻機節能改造
隨著半導體制造工藝節點不斷縮小，光刻機，特別是極紫外（EUV）光刻機，對電能的需求急劇上升，使其成為晶圓廠中的高能耗大戶。高壓電源系
光刻機電源可靠性提升方案解析
光刻機電源系統的可靠性是維持半導體產線高綜合設備效率（OEE）的生命線。電源系統一旦失效，將導致光刻機停機，帶來巨大的經濟損失。因此
離子注入機電源集成化發展趨勢
離子注入機電源的集成化（Integration）發展趨勢，是應對現代半導體制造對設備小型化、高密度、高可靠性和數字化控制需求的必然演進。集成
高壓電源助力離子注入機節能改造
隨著全球半導體制造業對能源效率的要求日益提高，高壓電源作為離子注入機的主要能耗部件，其節能改造成為提升產線經濟效益和綠色制造水平的